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分子泵市场

　　分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩复合分子泵和牵引泵作为主泵。

　　由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸汽被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要。

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油池安装注意事项　　①、拆油

　　②、油量控制

　　③、油池卫生，防颗粒

　　④、对好、对称上紧螺钉，防止有漏

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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分子泵启动的条件：

　　①、启动条件：连接无误、无漏、冷却、润滑、真空度

　　②、启动时间：

　　同时启动——小系统，防前级泵油上返。

　　延迟启动——系统容积过大,先启动前级泵，至系统压强P=200Pa时，启动分子泵。

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TwisTorr 305 FS 涡轮分子泵TwisTorr 305 FS 涡轮分子泵具有优化的设计和先进的连接选项（如蓝牙）。这款 300 L/s 的涡轮分子泵可以通过 Vacuum Link 应用程序进行无线驱动。

TwisTorr 305 FS 涡轮分子泵是学术研究/粒子的理想选择（泵和控制器之间的距离可达 100 m），其中压缩比是实现极低的极限真空的重要因素。这款泵噪音低、振动小，是高灵敏仪器、质谱、电子显微镜和表面分析应用的解决方案。

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尽量避免频繁启停分子泵在匀速工作时，转子叶片仅受到离心力的作用（真空下阻力很小可以忽略不计），即远离轴心的方向的拉力；而在加速和减速的时候，叶片还受到转动切线方向的力，相当于对叶片进行弯折的力。显而易见，对叶片进行弯折对其疲劳寿命的贡献更大。

另外，分子泵在加速时功率较大，内部发热比较严重，频繁的启停（两次启动间隔<30 分钟）会造成热量累积，使分子泵内部的温度过高，加剧轴承磨损。

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当涡轮分子泵的转子在磁场中旋转时，会产生涡流。这些电流倾向于阻碍转子的旋转，并导致电机的功率增大。由于泵转子不与定子接触，涡生的热量和额外的功率主要通过辐射消散。因此，转子可能会过热，即使泵体及其它静止的部件仍然是冷的。

使用经过加速的离子束照射被测的表面，通过分析反射的粒子或光谱来测定被照射表面的具体成分。离子束分析技术可以对物体表面和近表面的元素进行分析，具有快速直接、无需样品处理、无损、元素覆盖范围广等特点。